固安县凯洛特过滤设备有限公司

单晶炉真空系统过滤器设置在连接单晶炉与真空泵之间 的管路上，用来将单晶炉抽真空。现有的单晶炉真空系统过 滤器是由过滤网架、焊接在过滤网架两端的支撑圈、环绕在 过滤网架上并与支撑圈粘接的圆形过滤网布构成。这种结构 的过滤器过滤效果不好，易将单晶炉中的氧化物经过过滤网 布带入真空泵中，影响产品质量。 发明内容
本实用新型的目的是要解决现有技术存在的上述问题， 提供一种过滤效果好，可防止单晶炉中的氧化物进入真空泵 中的单晶炉真空系统过滤器。


具体实施方式

如图所示，该过滤器是由过滤网架3、焊接在过滤网架 3两端的支撑圈1、环绕在过滤网架3上并与支撑圈1粘接 的过滤网布2构成，所述的过滤网布3沿支撑圈1的圆周方 向呈波浪状布置。
权利要求1、一种单晶炉真空系统过滤器，由过滤网架、焊接在过滤网架两端的支撑圈、环绕在过滤网架上并与支撑圈粘接的过滤网布构成，其特征是所述的过滤网布沿支撑圈的圆周方向呈波浪状布置。
专利摘要一种单晶炉真空系统过滤器，解决了现有的过滤器过滤效果不好，易将单晶炉中的氧化物经过过滤网布带入真空泵中，影响产品质量的问题。它由过滤网架、焊接在过滤网架两端的支撑圈、环绕在过滤网架上并与支撑圈粘接的过滤网布构成，其特殊之处是所述的过滤网布沿支撑圈的圆周方向呈波浪状布置。由于过滤网布沿支撑圈的圆周方向呈波浪状布置，可增大过滤面积，提高过滤效果，从而防止单晶炉中的氧化物进入真空泵中，确保产品质量。
文档编号B01D46/52GK201329229SQ20082023227
公开日2009年10月21日 申请日期2008年12月25日 优先权日2008年12月25日
发明者健 商, 张新伟, 李正川, 强 潘, 存 王, 极 赵, 邸素艳, 闫卫东, 陈立民 申请人:锦州日鑫硅材料有限公司